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本发明属于微电子加工技术领域,公开一种花键套,包括:花件套主体和中心孔;其中,花件套主体的两端分别固定有一组导向端盖和折返端盖;花键套主体内侧壁纵向开设两条凹槽作为滚珠主滑道;花键套主体内部纵向开设两条滚珠返回滑道,每条滚珠返回滑道与对应的滚珠主滑道相邻设置,滚珠返回滑道横向开槽与中心孔相贯通;所述导向端盖与花件套主体贴合一侧开设导向槽,导向槽连通相邻的一组滚珠主滑道和滚珠返回滑道,折返端盖在对应于导向槽的位置处开设折返槽,导向槽和折返槽共同构成连通滚珠主滑道和滚珠返回滑道的通道。花件套主体可以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112935438 A
(43)申请公布日 2021.06.11
(21)申请号 202110085871.8
(22)申请日 2021.01.22
(71)申请人 青岛微控电子科技有限公司
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