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2023-06-10 发布于四川
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半导体清洗设备及其排气机构.pdf

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本申请实施例提供了一种半导体清洗设备及其排气机构。该排气机构包括：排气套筒的周壁上设置有沿轴向排布的多个排气口，并且多个排气口分别与不同的排气管路连通；选择套筒嵌套于排气套筒内，选择套筒的周壁上设置有沿轴向排布的多个导通口，多个导通口与多个排气口一一对应地设置，排气套筒及选择套筒可相对旋转，使导通口和与其对应的排气口连通，多个导通口与多个排气口被设置为任意一个导通口和与其对应的排气口连通时，其他各导通口均不和与其对应的排气口连通。本申请实施例实现了不同类型的气体分别经由排气口进入不同的排气管路内

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112951740 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 202110097077.5 (22)申请日 2021.01.25 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

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