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本发明提供了一种ICP光谱仪光学系统,涉及光学仪器技术领域,包括:光室系统以及透射前置光路组件,在透射前置光路组件中采用两块镀膜紫外融石英的双凸透镜,在增加光通量的基础上,延长了透射前置光路组件的长度,避免CCD检测器距离光源太近对其产生电磁干扰;同时将复合光通过快门单元的光阑限制进行杂光抑制,后入射至非球面准直镜,再入射到棱镜和中阶梯光栅封装在一个黑盒子内,其只保留的入射和出射的光通路,解决了现有光谱仪棱镜反射杂光和光栅多级次杂光影响问题,而只有非球面准直镜、非球面聚焦镜位置的调整,取消中阶梯
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112945941 A
(43)申请公布日 2021.06.11
(21)申请号 202110138916.3
(22)申请日 2021.02.01
(71)申请人 北京华科精仪科技有限公司
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