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本发明公开了一种球阀圆头表面TiVZrCrAl高熵合金涂层及其制备方法,包括以下步骤:(1)预处理:对球阀圆头依次进行抛光、抛丸除锈、清洗、干燥处理;(2)偏压反溅射清洗:将步骤(1)干燥后的球阀圆头采用偏压反溅射清洗;(3)靶材预溅射:对TiVZrCrAl高熵合金靶材进行预溅射;(4)沉积TiVZrCrAl高熵合金涂层:在氩气气氛下,于相应溅射条件下对TiVZrCrAl高熵合金靶材进行溅射,每隔20~60min中断沉积5~10min;(5)去应力和矫正变形处理:球阀圆头保持沉积时的加热温度,静
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112921267 A
(43)申请公布日 2021.06.08
(21)申请号 202110075590.4 C23C 14/35 (2006.01)
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