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本发明公开一种采用边部多点控制的同板差改进方法,设定H15和HC,及HX、HY、HZ,H15与HC的比值为阈值系数α,HX与HC的比值为阈值系数β,HY与HC的比值为阈值系数θ,HZ与HC的比值为阈值系数δ,将四点任一点厚度值与对应四个系数确定后的阀值区间进行对比;若四个点任意一点厚度值≤阀值控制上限,将四个厚度值分别减去对应位置厚度阀值下限,再乘以比例系数,将四个乘积相加,得累加厚度差值,若<0,则同板差控制手段投入程度提升,若≥0,则系统继续进行对比分析循环;若四个点任意一点厚度值>阀值控制
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112934977 A
(43)申请公布日
2021.06.11
(21)申请号 20191
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