- 1、本文档共92页,其中可免费阅读91页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种抗蚀剂组合物,含有树脂成分(A1)与增塑剂成分(Z),树脂成分(A1)具有包含酸分解性基团的结构单元(a1)、以式(a10‑1)表示的结构单元(a10),增塑剂成分(Z)具有以式(z1‑1)表示的结构单元(z1)且不含酸解离性基团,增塑剂成分(Z)的含量相对于树脂成分(A1)100质量份为50质量份以下,固体成分浓度为25质量%以上。式中,Wax1是芳香族烃基。Vz0是单键或不含酸解离性基团的2价烃基。Rz0是氢原子或不含酸解离性基团的烃基。[化1]
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112946998 A
(43)申请公布日 2021.06.11
(21)申请号 202011423839.8
(22)申请日 2020.12.08
(30)优先权数据
文档评论(0)