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一种高功率远红外金刚石激光单晶复合材料制备方法.pdfVIP

一种高功率远红外金刚石激光单晶复合材料制备方法.pdf

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    一种高功率远红外金刚石激光单晶复合材料制备方法，属于金刚石激光晶体材料领域。首先采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)制备(100)金刚石单晶膜；随后经过激光平整化、抛光、酸洗以及丙酮和酒精清洗后获得热导率≥2000w/(m·K)、远红外波段(8～12μm)红外透过率为71％金刚石单晶膜；再通过磁控溅射方法在双面抛光金刚石单晶膜单面沉积1‑2nm厚(100)铟(In)层作为晶格失配缓冲层；最后在铟(In)层表面异质外延生长(100)硒铟镓银(AgGa1‑xInxSe2)非线性晶体材料，进而获得单

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112941623 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202110108188.1 H01S 3/06 (2006.01)

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