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本发明公开了一种柔性平面探测器PIN芯片及其制作方法与应用，该芯片由下至上依次包括N面电极、外延片和P面电极；所述外延片依次为n型InGaAs欧姆接触层、n型InP层、InGaAs层、p型InP层和p型InGaAs欧姆接触环；所述P型InGaAs欧姆接触环设有扩散孔区域。本发明采用柔性芯片工艺，得到柔性平面探测器PIN芯片，应用场景不局限于常规封装形式，可应用于各类曲面、柔性器件等复杂环境使用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112951941 B
(45)授权公告日 2022.04.12
(21)申请号 202110110360.7 H01L 31/18 (2006.01)
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