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本发明实施例公开了一种多边内凹型图形化衬底和LED外延片。该多边内凹型图形化衬底包括:基底,位于所述基底上的多个第一微结构凸起,所述第一微结构凸起包括多个侧面,所述多个侧面中包括至少一个内凹侧面。本发明实施例可以提高微结构的排布密度,增加对光线的反射,实现外量子效应的最大化,同时能最大限度保证衬底C面面积,保证外延质量,降低对内量子效率的影响。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112951962 A
(43)申请公布日 2021.06.11
(21)申请号 202110119545.4
(22)申请日 2021.01.28
(71)申请人 广东中图半导体科技股份有限公司
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