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本申请涉及半导体器件测试设备技术领域,特别是涉及一种弯曲测试装置,用于测试柔性部件,包括第一夹具、第二夹具和行程限定件,第一夹具用于夹持柔性部件的第一边,第二夹具用于夹持柔性部件的第二边,第二边与第一边相对设置;行程限定件用于限定第二夹具分别向第一夹具的夹持平面两侧移动的行程,使第二夹具两端能够以不同速度向第一夹具的夹持平面两侧弧形移动,以带动柔性部件能够向两侧弯曲。本申请实施例的弯曲测试装置可以带动柔性部件向两面弯曲,实现对柔性部件的向内弯曲和向外弯曲测试。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112985979 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110132241.1
(22)申请日 2021.01.31
(71)申请人 广州国显科技有限公司
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