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本发明公开了一种垂直腔面发射激光器及其制备方法。垂直腔面发射激光器包括：衬底；第一反射层，覆盖衬底；有源层，位于第一反射层远离衬底的一侧；第二反射层，位于有源层远离第一反射层的一侧；第一氧化层，位于第二反射层内沿第一方向相对的两侧；电极金属层，位于第二反射层远离有源层的一侧，且与第一氧化层对应；第二反射层内还设置有第一离子注入层；沿第一方向和第二方向，第一离子注入层均延伸至第二反射层的边界；沿第三方向，第一离子注入层与第二反射层的边界不接触；其中，第二方向为垂直于衬底的方向，第一方向与第三方向相
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112993752 B
(45)授权公告日 2021.09.17
(21)申请号 202110503049.9 审查员 关玉巧
(22)申请日 2021.05.10
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