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制造超声波传感器的方法.pdfVIP

制造超声波传感器的方法.pdf

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    公开了制造超声波传感器的方法。所述方法包括：在可蚀刻基板上形成具有凹部和凸部的微图案，在微图案的凹部中填充压电材料，对填充的压电材料加压，对压电材料进行烧结以形成初级压电体，对初级压电体进行再烧结以形成密实的单位压电体，以及在每个单位压电体的两端形成电极端子以产生单位压电单元。该方法使得能够以高良品率制造高品质超声波传感器。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113016085 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 201980055688.4 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限

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