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本发明公开了一种基于自适应光学的毛玻璃切割装置及方法,沿激光光束传播路径依次包括:激光器、扩束镜、自适应光学系统、激光切割头和加工平台,所述加工平台上固定有待切割的毛玻璃工件;所述自适应光学系统包括波前探测器、波前控制器和波前校正器,所述波前探测器用于实时检测待切割毛玻璃的表面形貌,并将检测到的表面形貌实时反馈至波前控制器,所述波前控制器根据表面形貌数据控制波前校正器对激光束的相位进行调整。本发明利用不断变化的波前校正量来补偿不断变化的动态波前误差,使得本发明的切割装置在切割过程中可以自动适应毛
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112975162 B
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202110431037.X B23K 26/70 (2014.01)
(22)申请日
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