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2023-06-11 发布于四川
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一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件.pdf

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本发明涉及通讯芯片光刻技术领域，且公开了一种新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，包括同心校正机构，所述同心校正机构内部的中端转动连接有同心转动轴，同心转动轴的外侧设有内压固定轮。该新材料通讯芯片生产光刻用同心校正辅助组件，通过液压校正环内部液压油的偏向运动，进而使光束校正器偏向一侧内部的液压油向同侧的扩撑杆进行施压，从而使扩撑杆向内侧运动，使扩撑杆下压伸缩台和顶位柱，进而使顶位柱推动圆头活塞和滑动活塞接触，从而使滑动活塞向内部偏移，进而带动顶伸柱和半弧板向偏转的光束校正器运动，从而使光束校

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112987507 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110231263.3 (22)申请日 2021.03.02 (71)申请人晨磊（广州）数码科技有限公司

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