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2023-06-11 发布于四川
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新型三坐标T型气浮工作台.pdf

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本发明公开一种新型三坐标T型气浮工作台，包括包括基座、X轴静导轨、X轴动导轨、Y轴静导轨、Y轴动导轨、固定桥框、Z轴静导轨和Z轴动导轨；X轴静导轨设置两条，两条X轴静导轨平行固定在基座上端面，X轴静导轨的横截面为T形，在X轴静导轨上配合X轴动导轨；X轴动导轨的上端面中央设置一条Y轴静导轨，Y轴静导轨的方向与X静导轨正交，在Y轴静导轨上配合X动导轨；X轴动导轨的上端面设置固定桥框，固定桥框的中央设置Z轴静导轨，Z轴静导轨内配合Z轴动导轨。本发明对于促进精密工程领域的超精密加工、超精密测量以及快速定

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112963450 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110307791.2 (22)申请日 2021.03.23 (71)申请人西安工业大学地址

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