一种并联复桥组合杠杆式大行程三自由度精密微定位平台.pdfVIP

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2023-06-11 发布于四川
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一种并联复桥组合杠杆式大行程三自由度精密微定位平台.pdf

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本发明公开了一种并联复桥组合杠杆式大行程三自由度精密微定位平台，包括定平台，所述定平台上周向设置有三个复桥组合杠杆，所述复桥组合杠杆上通过双轴柔性铰链安装有动平台，所述复桥组合杠杆设有复桥位移放大机构，且复桥位移放大机构内设有压电陶瓷驱动器。平台整体采用三个完全一样的复桥组合杠杆式位移放大机构呈等边三角形并联而成，平台总体尺寸较小并且具有更大的承载力。复桥组合杠杆式位移放大机构，相比于传统的位移放大机构具有更大的刚度和放大比。采用新型双轴柔性铰链代替传统球铰链，使位移放大机构与球铰链可以一体化加

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112967749 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110332625.8 (22)申请日 2021.03.29 (71)申请人沈阳工业大学地址

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