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本发明涉及一种10nm级免液氦极低温减振系统，该系统包括隔振地基Ⅰ、隔振地基Ⅱ、外部循环管路系统、内循环管路系统、制冷机和真空腔体。隔振地基Ⅰ与隔振地基Ⅱ之间设有间隙；隔振地基Ⅰ上设有支撑架，该支撑架上固定有真空腔体顶法兰；真空腔体顶法兰与真空腔体相连，该真空腔体内设有一级冷屏；一级冷屏内设有二级冷屏，该二级冷屏内设有连接在一起的回热换热器、氦池、负载测试平台；隔振地基Ⅱ上设有制冷机支撑架，该制冷机支撑架上固定有制冷机安装法兰；制冷机安装法兰分别与真空腔体顶法兰、制冷机相连，该制冷机与一级冷屏、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112963498 B
(45)授权公告日 2021.12.14
(21)申请号 202110345632.1 F16L 55/02 (2006.01)
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