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2023-06-11 发布于四川
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一种冷却液添加装置、冷却器及半导体设备.pdf

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本发明提供了一种冷却液添加装置、冷却器及半导体设备，所述冷却液添加装置包括储液箱、控制器和加液管，所述加液管的进液与所述储液箱相连，所述加液管的出液口用于与所述冷却器的加液口相连；所述储液箱用于存储冷却液；所述控制器用于在所述冷却器内的液位低于预设阈值时，控制所述加液管将所述储液箱内的冷却液添加至所述冷却器中。本发明提供的冷却液添加装置能够使得冷却器在不停机的情况下完成自动加液，既能够保证所述冷却器的温度控制，避免冷却器发生宕机风险，又能够对所有同型号的冷却器的加液过程进行系统化监测，并对加液过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112984877 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110209886.0 (22)申请日 2021.02.24 (71)申请人上海华力微电子有限公司

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