一种转移承载装置及转移方法.pdfVIP

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本发明涉及一种转移承载装置及转移方法。转移承载装置包括光源模块,设置在光源模块出光侧的光调制模块,多个转移元件;光调制模块包括入光面、多个光控区域和出光面;入光面靠近出光侧,出光面远离出光侧,光控区域设置在入光面和出光面之间;转移元件包括第一表面和第二表面,第一表面与光调制模块的出光面接触,第二表面放置待转移微元件。转移方法包括:在转移元件上放置待转移的微元件;使目标基板上的目标转移位置与待转移的微元件一一对准;启动光源模块,其射出的光线进入光控区域;控制进入预定光控区域的光线穿过出光面,改变相

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112992756 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202010465382.0 (22)申请日 2020.05.28 (71)申请人 重庆康佳光电技术研究院有限公司

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