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2023-06-11 发布于四川
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光罩薄膜检测系统及检测方法.pdf

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本公开提供了光罩薄膜检测系统及检测方法，通过对现有光刻机台进行改造，得到光罩薄膜检测系统，该检测系统包括：光刻机台、遮光板、相机、机械手臂、黄光光源和拍照触发传感器，检测系统还可包括：光源控制器、输入输出端口集成器、控制设备和指示灯。该光罩薄膜检测系统及检测方法可以在现有光刻机台的空间内安装遮光板、遮光板、相机、机械手臂、黄光光源和拍照触发传感器，不需额外空间占用；另外通过采用黄光光源，不影响现有光刻机的工作；最后，通过由控制设备实现对光罩薄膜自动化和标准化检测。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112987509 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110243331.8 (22)申请日 2021.03.05 (71)申请人日月光半导体制造股份有限公司

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