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本发明公开了碳化硅的生产方法以及专用生产系统。本发明在原材料的选取上采用易于提纯的液态体系为原材料为生产高纯度纳米级碳化硅粉体奠定了原料基础;在碳化硅生产过程中应用单炉多层流化熔融炉提高物料的充分混合和传质传热,一步实现碳化硅产品的完全转化,无需分离回用乏料;利用石墨化加热芯精准控制单炉多层流化熔融炉内各个床层的温度控制产品类型;应用单炉多层流化熔融炉多个床层有效缩短碳化硅生产过程的反应时间;应用惰性气体作为流化气在床层熔融物料中产生湍动实现物料混合和反应均匀;在碳化硅生产过程中充分应用流化气的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112978732 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110142740.9
(22)申请日 2021.02.02
(71)申请人 北京绿清科技有限公司
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