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本发明涉及一种微器件的转移方法和系统，该方法包括：将第一激光分为第二激光和第三激光；将所述第二激光提供给一激光剥离组件，以使所述激光剥离组件将微器件从衬底剥离；以及将所述第三激光提供给一光镊调节组件，通过所述光镊调节组件将剥离后的所述微器件拾取并转移至一背板。通过该方法，微器件只与激光接触，可避免损伤微器件，可以适用于小尺寸的微器件的转移。只需利用第一激光进行分光即可实现微器件从衬底的剥离，以及拾取和转移剥离的微器件，可减少激光组件的数量，节约成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112993120 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202010816180.6 G21K 1/00 (2006.01)
(22)申请日 20
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