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基于机械臂的超声椭圆振动装置测量系统及方法.pdfVIP

基于机械臂的超声椭圆振动装置测量系统及方法.pdf

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    本发明提供一种基于机械臂的超声椭圆振动装置测量系统及方法，方法包括如下步骤：(1)通过机械臂完成激光干涉仪的粗定位；(2)利用爬山算法实现自动聚焦；(3)获取超声椭圆振动装置的固有频率；(4)分别获取X、Y向的振动信号，并进行轨迹合成。本发明利用机械臂和激光干涉仪实现了自动化测量超声椭圆振动装置共振频率与运动轨迹的测量，提高了测量效率和测量精度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112964352 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110301978.1 (22)申请日 2021.03.22 (71)申请人 天津大学 地址 30

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