光罩及其制作方法.pdfVIP

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一种光罩及其制作方法，其中，制作方法包括：提供透明基材；在所述透明基材表面形成吸收层；在所述吸收层表面形成半透膜层；在所述半透膜层表面形成光催化薄膜层。本发明提供的制作方法形成的光罩，新增一层光催化薄膜层，可以解决光罩的雾化问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113009778 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 20191

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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