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提供加工装置，能够抑制加工效率的降低。加工装置具有：盒载置台，其载置有盒，该盒具有多个收纳架，多个该收纳架分别各收纳一张被加工物；卡盘工作台，其对被加工物进行保持；搬送单元，其对被加工物进行搬送；加工单元，其对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；以及控制部，搬送单元具有：被加工物检测部，其一层一层地检查载置于盒载置台的盒所具有的多个收纳架，对收纳于多个收纳架的被加工物进行检测；以及搬送部，其从载置于盒载置台的盒中搬出被加工物。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112992724 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202011369778.1
(22)申请日 2020.11.30
(30)优先权数据
2019-2177
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