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2023-06-11 发布于四川
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一种自动上料晶圆贴膜设备.pdf

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本发明公开了一种自动上料晶圆贴膜设备，其结构包括贴膜设备、加工平台、机体、控制按钮，贴膜设备活动卡合安装在机体的上端表面，加工平台镶嵌设于控制按钮的正上方，机体外侧安装着控制按钮，控制按钮位于贴膜设备的右侧下，为了避免切割机构的下压对晶圆造成破坏而在伸缩管与活动管的相邻端面间安装着空心橡胶块，在伸缩管下压抵住晶圆片的同时会向内挤压空心橡胶块，使空心橡胶块产生形变而为伸缩管的收缩提供活动空间，可有效保证对晶圆片外轮廓的温度隔绝与闭合，避免因温度过度的炙烤使得薄膜收缩。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112992728 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110154519.5 (22)申请日 2021.02.04 (71)申请人广州市乐薇商贸有限公司

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