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本发明有关于一种挡液板结构与以之制备的蚀刻设备及蚀刻方法，是一种适用于湿式蚀刻机的挡液排液功能且增加其透气性以降低产品损耗的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备，以及蚀刻方法；本发明主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的设计，有效使风刀装置吹出的气体得以经由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面张力现象防止水滴由宣泄孔落下造成基板显影不均等异常现象，确实达到保有原始挡液板的挡液效果，以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险等主要优势。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112992716 A
(43)申请公布日
2021.06.18
(21)申请号 20191
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