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本发明提供一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法，其中压电声波谐振器包括：压电感应振荡片体，所述压电感应振荡片体包含相对的第一表面和第二表面；置于所述压电感应振荡片体第一表面上的第一组叉指式换能器和第二组叉指式换能器，所述第一组叉指式换能器至少包括一个第一导电叉指，所述第二组叉指式换能器至少包括一个第二导电叉指；第一间隙，位于所述压电感应振荡片体第一表面与所述第一导电叉指之间和/或，第二间隙，位于所述压电感应振荡片体第一表面与所述第二导电叉指之间。解决压电感应振荡片体和第一导电叉指、第二导电叉指接触
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112994638 A
(43)申请公布日
2021.06.18
(21)申请号 20191
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