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本发明提出一种存储器及其制造方法,包括:衬底;控制栅层,位于所述衬底上;凹形区域,与所述控制栅层相邻;浮栅结构,位于所述凹形区域的衬底上;源极,形成在所述衬底中,位于所述控制栅层远离所述凹形区域的一侧;漏极,形成在所述凹形区域的衬底中。本发明提出的存储器编程时间短。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113013235 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 201911326561.X
(22)申请日 2019.12.20
(71)申请人 合肥
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