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本发明提供热处理装置，其无论基板的翘曲的大小如何，都能够在面内均匀地进行对该基板的热处理。热处理装置，其对基板进行热处理，该热处理装置具有：热处理板，在其上表面载置基板，对被载置的该基板进行加热或冷却；以及变形自如的导热构件，至少其外周面的热导率比所述热处理板的上表面附近的气氛的热导率高，且该导热构件设为覆盖该热处理板的上表面并介于该上表面和晶圆(W)之间，所述导热构件在向所述热处理板的上表面推压基板的力的作用下变形为与该基板的形状对应的形状。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113013054 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202011456717.9
(22)申请日 2020.12.11
(30)优先权数据
2019-2294
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