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本发明公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨机,其结构包括机械架、旋转机构、固定台、控制面板,旋转机构上端嵌固在机械架中间下表面,旋转机构下端安装于固定台内部上端,控制面板下端左侧卡合在固定台右侧,受力机构在晶圆表面移动,对限位板下端的支撑球块产生低压力,对刮除结构研磨的阻挡力进行缓冲,避免阻挡力过大,对研磨的阻挡力进行缓冲,避免阻挡力过大产生的研磨不稳定的问题,从而在阻挡杆的阻挡下,避免研磨块产生偏移,同时弯曲的研磨块使研磨的阻力进行分散,在移动研磨时使研磨的阻力进受力均匀,防止出现阻挡力不稳定的情
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112959157 A
(43)申请公布日 2021.06.15
(21)申请号 202110201561.8
(22)申请日 2021.02.23
(71)申请人 牟宗娟
地址 200
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