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本发明涉及一种巨量转移装置、系统及其控制方法。所述巨量转移装置包括:光束发射组件、旋转透镜、旋转透镜调节组件;所述旋转透镜用于接收从所述光束发射组件出射的光束;所述旋转透镜调节组件与所述旋转透镜连接,所述旋转透镜调节组件用于控制所述旋转透镜进行圆周旋转,且所述旋转透镜调节组件还用于调节所述旋转透镜的旋转半径。本发明的巨量转移装置,通过调节旋转透镜调节组件改变旋转透镜的路径,进而调整旋转透镜出射的光斑路径。本发明通过调整旋转透镜的旋转半径即实现光斑路径的调整,即仅仅需要控制旋转透镜的一轴元件,比传
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112992665 B
(45)授权公告日 2022.02.25
(21)申请号 202010444385.6 H01L 21/677 (2006.01)
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