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本发明的将半导体芯片(102)封装至被封装体的封装装置(10)包括:载台(12),载置被封装体;封装头(16),设置为能够在载台(12)的上方升降,并将半导体芯片(102)按压至被封装体;以及薄膜配置机构(18),使带状的保护薄膜(110)介于封装头(16)与载台(12)之间,且薄膜配置机构(18)包括:薄膜送出部(21),具有至少缠绕着保护薄膜(110)的送出卷轴(23);薄膜回收部(22),具有至少也卷绕经送出的保护薄膜(110)的回收卷轴(24);以及一个以上的中继轴(26),设置于自送出
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112997286 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202080005932.9 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理
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