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2023-06-11 发布于四川
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一种光伏电池电极的制作方法.pdf

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本发明提供了一种光伏电池电极的制作方法，包括以下步骤：将含光敏成分的液态掩膜材料沉积到表面为介质层或透明导电氧化物或导电种子层的光伏器件的表面上；将所述掩膜材料的部分区域暴露在激光下，其中曝光的区域发生化学反应；显影以使未曝光区域的掩膜材料从光伏器件的表面去除，使得介质层或透明导电氧化物或导电种子层暴露，从而形成掩膜材料的局部开口；刻蚀介质层使半导体层暴露在开口位置，进而通过电化学沉积的方式将导电材料附着到开口位置的半导体表面；或在开口的透明导电氧化物或导电种子层上通过电化学沉积的方式将导电材料

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112993087 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110229007.0 (22)申请日 2021.03.02 (71)申请人苏州太阳井新能源有限公司

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