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一种氧化镓X射线探测器及其制备方法.pdfVIP

一种氧化镓X射线探测器及其制备方法.pdf

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    本发明公开了一种氧化镓X射线探测器及其制备方法，氧化镓X射线探测器的制备方法包括步骤：提供氧化镓单晶；对所述氧化镓单晶进行切割处理得到单晶基体片；对所述单晶基体片进行退火处理得到退火的单晶基体片；在所述退火的单晶基体片上形成叉指电极得到氧化镓X射线探测器。本发明采用氧化镓单晶，并将氧化镓单晶切割后得到单晶基体片，并对单晶基体片进行退火处理，通过退火处理降低氧化镓单晶中自由电子浓度，使得氧化镓X射线探测器在电压下更快响应，缩短了响应时间。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112993085 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110176376.8 C23C 14/18 (2006.01)

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