用于蒸发材料的蒸发设备及使用蒸发设备蒸发材料的方法.pdfVIP

用于蒸发材料的蒸发设备及使用蒸发设备蒸发材料的方法.pdf

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本文描述的实施方式有关于一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)。蒸发设备包括用于材料的容器(105)以及加热组件(110)，加热组件包括至少部分地设置在容器周围的外部加热单元(115)以及位于容器内的网状结构(120)。外部加热单元用于在容器内提供温度梯度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112996946 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 201880099225.3 (51)Int.Cl.

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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