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2023-06-11 发布于四川
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本发明公开了一种Z切铌酸锂锥形波导及其制备方法，锥形波导的整体结构包括铌酸锂基底(1)、位于铌酸锂基底(1)+Z面上的质子交换层(2)、以及作为高折射率锥形波导区的锥形横向扩散区(3)；所述锥形横向扩散区(3)由所述质子交换层(2)中的质子在交换过程中横向扩散进入锥形区域的氢离子继续向里均匀扩散形成；本发明利用质子交换(PE)湿法刻蚀技术和退火工艺相结合，在Z切铌酸锂基底上制作出锥形波导，从而实现铌酸锂锥形波导制作工艺的改进和发展，推动铌酸锂波导器件向更加小型化、低损耗方向发展。与现有技术相比，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112965166 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110251977.0 (22)申请日 2021.03.08 (71)申请人天津大学地址 30

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