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2023-06-11 发布于四川
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电子束探测技术及相关结构.pdf

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本申请涉及电子束探测技术及相关结构。可形成导电回路，其中一些可接地，且另一些可根据预定图案电浮动。可以用电子束扫描回路，并且可以使用图像分析技术来生成光学图案。可以将所生成的光学图案与期望的光学图案进行比较，所述期望的光学图案可以基于接地和浮动回路的所述预定图案。可基于所述所生成的光学图案与所述预期的光学图案之间的差异来确定电缺陷。例如，如果第二回路呈现为具有对应于接地回路的亮度，则这可指示存在意外短路。可针对后续器件调整制作技术以校正所识别的缺陷。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112992197 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011371916.X (22)申请日 2020.11.30 (30)优先权数据 16/700,97

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