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用于在恶劣环境中测量物理参数的光学传感器及其制造和使用方法.pdfVIP

用于在恶劣环境中测量物理参数的光学传感器及其制造和使用方法.pdf

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    一种用于测量物理参数的光电子系统，包括：利用耦合器被一并耦合为组合光的具有不同峰值频率的两个窄带光源。所述组合光被分成第一法布里‑珀罗干涉仪和第二法布里‑珀罗干涉仪，所述第一法布里‑珀罗干涉仪被设置为暴露于温度和另一个物理参数，所述第二法布里‑珀罗干涉仪被设置为仅暴露于温度。所述系统还包括：第一光学检测器和第二光学检测器，被设置为通过包括透镜和/或反射镜的组合的光路和菲索干涉仪分别接收从第一、第二法布里‑珀罗干涉仪的腔反射的光。处理器被设置为分析第一光学检测器和第二光学检测器接收的数据，并计算温

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112985477 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202011379479.6 G01L 11/02 (2006.01)

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