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本发明公开了一种双动极板电容式压力敏感芯片。该芯片包括刻有凹槽及进压通道的单晶硅衬底，感压上极板，感压下极板，介质层，密封腔体，其特征在于：敏感结构中上、下两极板均可感压并可动，通过在结构中设置进压通道，使得外界压力可由进压通道经凹槽作用于下极板。当有外界压力存在时，上、下极板会同时受到压力作用发生形变，形成双动效果，两极板通过压焊点与外部电路连接成压力检测电路，将压力信号转换成电信号输出。本压力敏感芯片具有灵敏度高、线性度好、线性量程范围大、温度漂移小、过载能力强、制造工艺与集成电路工艺兼容等
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112964417 B
(45)授权公告日 2023.04.14
(21)申请号 202110392196.3
(22)申请日 2021.04.09
(65)同一申请的已公布的文献号
申请公布号 C
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