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2023-06-11 发布于四川
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基板拾取装置及基板拾取方法.pdf

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本发明涉及在拾取基板时减少其他基板的跟随的基板拾取装置及基板拾取方法。基板拾取装置是从在载置台上排列的多个单位基板中拾取一个单位基板的装置，并具备吸附手和控制器。吸附手装配于机械臂。吸附手具有：压杆，其从上方对拾取对象的单位基板的第一边角料及第二边角料进行按压；以及吸附部主体，其能够相对于压杆向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的单位基板进行吸附。控制部执行以下步骤：使压杆从上方按压第一边角料及第二边角料的步骤；使吸附部主体对拾取对象的单位基板进行吸附的步骤；以及通过使吸附部主体以相对于压杆向斜

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113009729 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011282074.0 (22)申请日 2020.11.16 (30)优先权数据 2019-2308

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