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本发明创造提供了一种自动读码设备，底板、检测组件、抓取组件、第一滑动组件、第二滑动组件，第一滑动组件、第二滑动组件均安装在底板上，检测组件包括读码器，抓取组件包括真空吸盘，读码器安装在第一滑动组件上，真空吸盘安装在第二滑动组件上，读码器与真空吸盘对应设置。本发明创造所述的一种自动读码设备解决了现有半导体硅片读码未人工读取，容易导致读码错误，工作效率低的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112966535 A
(43)申请公布日 2021.06.15
(21)申请号 202110333485.6
(22)申请日 2021.03.29
(71)申请人 中环领先半导体材料有限公司
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