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2023-06-11 发布于四川
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具有可变弹性常数的弹性组件的微机械设备.pdf

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本公开的各实施例涉及具有可变弹性常数的弹性组件的微机械设备。一种微机械设备，包括：半导体本体；第一移动结构；弹性组件，被耦合到第一移动结构和半导体本体，并且适于经历一个方向上的形变；以及至少一个抵接元件。弹性组件被配置为根据施加到弹性组件上的力使能第一移动结构的振荡。第一移动结构、抵接元件和弹性组件以如下方式相对于彼此被布置：当力小于力阈值时，弹性组件以第一弹性常数操作；并且当力大于阈值力时，第一移动结构与抵接元件接触，并且生成弹性组件的形变，该弹性组件以与第一弹性常数不同的第二弹性常数操作。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113009181 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011497781.1 (22)申请日 2020.12.17 (30)优先权数据 102019000

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