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具有透明工件表面模式的计量系统.pdfVIP

具有透明工件表面模式的计量系统.pdf

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    一种设有透明工件表面模式的计量系统，对于该计量系统，该系统被配置为在沿着Z高度方向靠近工件的多个位置上改变聚焦位置。获取图像堆栈，其中图像堆栈的每个图像包括透明或半透明的第一表面(例如工件的上表面)以及通过第一表面至少部分可观察的至少第二表面。基于图像堆栈确定多个聚焦曲线(例如，其中利用图案投影来提高对比度)，对于该多个聚焦曲线，可以确定每个聚焦曲线中分别对应于第一表面、第二表面等的第一局部聚焦峰、第二局部聚焦峰等。显示包括所选择表面的图像，并且对于该图像，可以测量所选择/所显示的表面的特征。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113008789 B (45)授权公告日 2022.05.10 (21)申请号 202011504114.1 (51)Int.Cl.

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