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本发明提供了一种发光二极管及其制作方法。在一些实施例中，该发光二极管包括：基板，具有相对的第一表面和第二表面，及连接该第一表面、第二表面的侧壁；发光外延叠层，形成于所述基板的第一表面之上，包括自所述基板的第一表面堆叠的第一导电类型半导体层、有源层和第二导电类型半导体层。进一步地，所述基板的侧壁具有一切割面，所述切割面起始于所述基板的第一表面一侧，所述基板的厚度方向上的宽度为所述LED芯片的基板之厚度的三分之一以上。该切割面为在LED芯片单一化过程中，从LED晶圆的正面切割发光外延叠层并深入至基板
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112993107 A
(43)申请公布日
2021.06.18
(21)申请号 20191
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