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2023-06-11 发布于四川
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一种蓝宝石切割液及其制备方法.pdf

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本发明属于半导体硬脆材料加工技术领域，具体涉及一种蓝宝石切割液及其制备方法。所述切割液的制备原料包括小分子有机溶剂、水、极压润滑剂、分散剂、润湿消泡剂、润湿剂、乳化剂、防锈剂、杀菌剂、碱性缓冲剂。本发明的蓝宝石切割液主要应用于各种尺寸及形貌的蓝宝石金刚线切割行业，解决了使用蓝宝石切割液切割时容易出现的崩边等边缘不良问题、在切割过程中不容易出现短线问题；切割后TTV、LTV、WARP、BOW等平整度性能符合要求，并且本发明的蓝宝石切割液具有良好的循环使用性能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112980558 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110226867.9 (22)申请日 2021.03.01 (71)申请人南宁珀源能源材料有限公司

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