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2023-06-11 发布于四川
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巨量转移装置、方法、系统及设备.pdf

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本发明提供一种巨量转移装置、方法、系统及设备。巨量转移装置包括：旋转盘，旋转盘包括第一表面以及与第一表面相对设置的第二表面，第一表面上设有两条相互垂直的第一直线和第二直线，第一直线和第二直线将第一表面分为按照顺时针方向排列的第一区域、第二区域、第三区域以及第四区域；驱动件，驱动件连接在第二表面上，用于驱动旋转盘移动或者旋转；第一转移头、第二转移头以及第三转移头，第一转移头位于第一区域，第二转移头位于第二区域，第三转移头位于第三区域，第一转移头与第二转移头关于第一直线对称，第二转移头与第三转移头关

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112992758 B (45)授权公告日 2022.02.25 (21)申请号 202010652065.X H01L 33/48 (2010.01) (22)申请日

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