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烘干固化炉装置和烘干方法.pdfVIP

烘干固化炉装置和烘干方法.pdf

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    本发明提供了一种烘干固化炉装置和烘干方法，固化炉装置包括：花篮，工件沿第一方向叠放于花篮上，炉体装置，花篮沿第二方向在炉体装置内传送，第一方向和第二方向相垂直。本发明的技术方案中，花篮用于装载硅片，并将硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112964047 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110297953.9 F26B 3/02 (2006.01) (22)申请日 20

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