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2023-06-11 发布于四川
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溅射镀膜机膜厚监测方法.pdf

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本发明提供了溅射镀膜机膜厚监测方法，包括：步骤S1：将接收端安装在镀膜室的壳体壁上，定位端安装在基片架上，使定位端和基片所在的平面平齐；步骤S2：将感应器安装在镀膜室的壳体壁上，所述感应器的感应端口正对基片；步骤S3：将感应器和接收端电连接，感应器和控制端电连接；步骤S4：镀膜前定位初始距离值s0；步骤S5：启动镀膜工序，基片架旋转，当定位端和接收端连通时获得实时距离st，膜厚s＝st‑s0。本发明可实时监测旋转基片的镀膜厚度，接收端、定位端和感应器的布置准确定位测量点，过滤掉获取无用的数据，降

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112981358 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 201911279153.3 (22)申请日 2019.12.13 (71)申请人湘潭宏大真空技术股份有限公司

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