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本发明提供了溅射镀膜机膜厚监测方法,包括:步骤S1:将接收端安装在镀膜室的壳体壁上,定位端安装在基片架上,使定位端和基片所在的平面平齐;步骤S2:将感应器安装在镀膜室的壳体壁上,所述感应器的感应端口正对基片;步骤S3:将感应器和接收端电连接,感应器和控制端电连接;步骤S4:镀膜前定位初始距离值s0;步骤S5:启动镀膜工序,基片架旋转,当定位端和接收端连通时获得实时距离st,膜厚s=st‑s0。本发明可实时监测旋转基片的镀膜厚度,接收端、定位端和感应器的布置准确定位测量点,过滤掉获取无用的数据,降
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112981358 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 201911279153.3
(22)申请日 2019.12.13
(71)申请人 湘潭宏大真空技术股份有限公司
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