用于氮化铝单晶抛光片（0001）面的极性面区分方法.pdfVIP

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2023-06-11 发布于四川
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用于氮化铝单晶抛光片（0001）面的极性面区分方法.pdf

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本发明涉及一种用于氮化铝单晶抛光片（0001）面的极性面区分方法，将100份去离子水中加入5~10份乙胺、15~30份6508异丙醇酰胺，使溶液混合均匀；将盛有混合溶液的烧杯置于加热台上，加热至60~70℃，用塑料镊子夹持将表面清洗后的（0001）面氮化铝双面抛光片放入烧杯之中，保持晶片两个抛光面与混合溶液充分接触，静置5~10分钟后将氮化铝抛光片取出；用去离子水冲洗干净，观察晶片的正反两个表面，其中仍保持光滑的为Al面，变粗糙的为N面。本发明的有益效果是：采用化学试剂腐蚀，并根据Al面和N面在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112986482 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110266073.5 (22)申请日 2021.03.11 (71)申请人中国电子科技集团公司第四十六研

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